氮化铝 (AlN) 是一种共价化合物,具有六方纤锌矿晶体结构,其晶格常数为 a = 0.3110 nm,c = 0.4978 nm。在该结构中,铝 (Al) 原子以六方密排结构排列,而氮 (N) 原子占据了四面体间隙的一半,形成扭曲的 [AlN₄] 四面体——沿 c 轴方向的 Al-N 键长为 0.1917 nm,其余三个方向的键长为 0.1885 nm。高纯度 氮化铝陶瓷 理论上是无色透明的,但实际使用中,由于含有杂质,往往呈现灰白色或淡黄色。
这种纤锌矿型共价晶体基于[AlN₄]四面体骨架,密度为3.26 g/cm³,在常压下分解温度为2480°C。该陶瓷材料具有以下优异性能:
①室温下机械强度高(随温度升高而逐渐降低)
②优异的导热性
③介电常数低,损耗小
④热膨胀系数小
⑤优异的化学惰性和生物相容性
⑥粉末合成法
AlN陶瓷的优异性能源于 高品质AlN粉末,可以通过多种技术制备:
①直接氮化
②碳热还原法
③高能球磨
④自蔓延高温合成(SHS)
⑤原位反应合成
⑥等离子体辅助化学气相沉积(CVD)
⑦溶剂热合成
⑧有机金属盐分解
成型技术
陶瓷成型工艺主要分为两种:
(1)干成型(适用于形状简单、成本较高的产品):
传统模压
冷等静压(CIP)
(2)湿成型(适用于复杂几何形状和低成本大规模生产):
流延成型
注浆成型
注塑成型
凝胶注模成型
(3)烧结方法
添加添加剂烧结
放电等离子烧结(SPS)
微波烧结
无压烧结
应用
AlN陶瓷具有较高的体积电阻率、绝缘强度、热导率和低介电损耗,广泛应用于:
绝缘 AlN基板 用于大功率半导体器件
散热AlN基板 用于超大规模集成电路(ULSI)
高频信号处理器中的表面声波 (SAW) 设备(利用其高声速) 高温AlN坩埚 (1300–2000°C)(由于出色的热稳定性)
当前研究重点
主要集中在:
降低高纯度粉末的合成成本
实现低温致密化烧结
稳定高质量流延基材
如果能够克服这些技术挑战,AlN陶瓷将在微电子和其他高科技行业得到更广泛的应用。
关于厦门钜瓷科技有限公司
厦门钜瓷科技有限公司是一家专注于高性能陶瓷材料研发、生产和销售的高新技术企业。作为一家领先的AlN粉末制造商,公司致力于为电子、半导体、航空航天等行业提供高品质的氮化铝系列产品及解决方案,凭借卓越的品质和服务,赢得了全球客户的广泛信赖。
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